詳細情報 |
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接眼レンズ: | 10X | レンズ: | 5x、10x、20x 50x |
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正確さ: | 2.5+L/200 | 決断: | 0.5μm |
ノーズピース: | 5倍 | ||
ハイライト: | 金属顕微鏡を測定する50x,INSPECT300金属顕微鏡,10x携帯用金属顕微鏡 |
製品の説明
ウエファーのサイズのための金属顕微鏡を測定する50xは点検する
使用法
金属顕微鏡を測定するシリーズを半導体のパッケージ、はんだのパッド、ループ高さ、FPDのパネル(LCM)で等広く利用されている、ウエファーのレベルCSPS点検しなさい。
特徴
■安定性が高いおよび剛性率を保障する高精度の大理石の基盤、テーブルおよびコラム
■大理石のテーブルの設計は、精密V形十字柵と、長期使用がなしの高い機械精密を変形させたり、効果的に保証することを保障する
■良質の光学系および高解像CCDはシャープなイメージの端を保障する
■3リングおよび8地帯LEDリング表面の冷光の源および輪郭の光源は、ライトからの熱によって引き起こされる精密部品の変形を避ける
■trinocular管を傾ける任意Nikon +五重のnosepiece
■イメージの測定ソフトウェアの独立した研究開発、強力および作動すること容易
技術的なデータ
モデル | INSPECT300 | INSPECT400 | INSPECT500 | ||||
XのY軸旅行(mm) | 300*200 | 400*300 | 500*400 | ||||
段階のガラス サイズ(mm) | 357*257 | 457*357 | 557*457 | ||||
Z軸旅行(mm) | 100 | ||||||
X、YのZ軸の決断(μm) | 0.5 | ||||||
長さの単位 | 線形スケール | ||||||
測定の正確さ(μm) | 2.5+L/200 L=measuringの長さ(mm) | ||||||
操作モード(XのY) | マニュアル | ||||||
操作モード(Z) | CNC | ||||||
カメラ | 高リゾリューションCCDのカメラ | ||||||
五重のnosepiece | 5X | 10X | 20X | 50X | |||
接眼レンズ | WF10X | ||||||
測定ソフトウェア | 第2測定ソフトウェア | ||||||
照明 | 送信される | Epi照明システム | |||||
輪郭 | LEDの平行輪郭ライト | ||||||
電源 | AC100~240V 50/60Hz |
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